현재 SEM 사용이 가능합니다.

 

다만 SEM 점검결과, TOPO와 COMPO 모드로 찍는 부분이 깨진것이 발견되었습니다.

 

TOPO 모드는 볼 수 있으나, COMPO 모드는 TOPO와 겹쳐서 이미지가 나오는 문제가 있습니다.

 

그 외에 일반적으로 측정하는  LEI나 SEI 모드는 문제 없어서 정상적으로 운영하기로 했습니다.