기기상세내역

명칭(한글) X-ray 광전자 분석기
명칭(영문) XPS, X-ray Photoelectron Spectroscopy
모델명 Sigma probe
제조사 Thermo, UK
취득일자 2008년 1월 28일
기기위치 37동 204호
용도설명 1. 시료 표면에 특정 X선을 입사하여 방출되는 광전자의 운동에너지를 측정함으로써 원자상의 결합에너지를 측정할 수 있습니다.
2. Ar Ion gun을 이용하여 시료표면의 etching을 통하여 깊이에 따른 조성 분포를 알아보는 Depth profiling 실험도 가능합니다.
3. 시료표면에 분포 되어있는 원소들의 정량분석도 가능합니다.
스펙 1. The XPS experiments were performed in an UHV multipurpose surface analysis system (SIGMA PROBE, Thermo, UK) operating at base pressures <10-9mbar.
2. The photoelectron spectra were excited by an Al Ka (1486.6eV) anode operating at constant power of 100 W (15 KV and 10 mA).
유의사항 1. 예약 하신 후 정해진 날짜 전에 샘플을 전달해 주시기 바랍니다.
※ 예약 후 무단으로 샘플을 가져오지 않을 경우 예약만큼의 비용이 청구됩니다.
2. 파우더 샘플은 펠렛 상태로만 측정이 가능합니다.
3. 시료 측정 시 진공이 잡히지 않은 샘플은 측정이 불가합니다.
담당자 변누리
담당자 연락처 02-872-1587