SEM EDS 사용 다시 가능합니다.

하지만 INCA 소프트웨어에서 option-detector control에서 In, Cold 상태이어야만 사용이 가능합니다.

주의하셔야 할 점은, SEM 사용시 마운트가 떨어지는 등의 이유로 SEM 장비 전체의 진공을 풀었다가 다시 잡는 경우가

생길 경우, 이는 EDS beam에도 영향을 미쳐 5~6일 정도 In, cooling 상태로 유지되다가 Cold 상태로 회복되는 경향이 있습니다.

때문에 EDS 장비의 원활한 사용을 위해서는 마운트가 떨어지는 일이 없도록 각별히 주의 하여야 함을 다시 한 번 말씀드립니다.

마운트가 떨어지는 사례의 대표적인 예를 SEM 장비 앞에 붙여놓았으니 이 점 각별히 신경써서 장비 이용해주시기 바랍니다.

감사합니다.