본 기기는 Atomic Force Microscope와 Scanning Tunneling Microscope를 겸용으로 사용 할 수 있는 장비로 탐침(TIP)의 원자와 시료의 원자 사이에 작용하는 힘을 이용해 캔틸리버 또는 TIP을 사용하여, 이 정보들을 귀환회로에 의해 정밀 제어 각 지점(x,y)을 이동하면서 힘이 일정하게 유지되도록 하여 시료 표면의 삼차원 영상을 원자단위의 크기로 얻을 수 있도록 합니다.
Innova SPM(AFM+STM)System은 Biology, Polymer, Material, Chemistry, Semiconductor와 그외 다양한 분야에서 시료의 물리적/전기적 특성 측정과 NanoScale의 표면측정 장비입니다.

본 장비를 이용하여 전기적 특성을 측정할 수 있는 Conductive AFM 기능을 탑재하고 있어 본 장비를 이용한 전기적 특성 측정과 분석을 할 수 있으며 Lateral Force, Phaseimaging등의 다양한 물리적 특성을 측정 할 수 있습니다.

(Conductive AFM 사용을 원하시는 분은 conductive 용 tip을 추가로 구매하셔서 사용하셔야 합니다.)
특히 본 제품은 Tapping ModeTM , Lift ModeTM , 등 많은 특허들로 인해 타사에서는 불가능한 Mode들이 정밀한 연구 수행에 도움이 되는 장비입니다. 

상기와 같은 작업 능력으로 바이오, 고분자, 반도체, 박막의 코팅면 등 다양한 시료의 측정을 통하여 유용하고 정확한 정보를 얻을 수 있습니다.

Closed-loop Scanner : XY > 90um, Z > 7.5um
Open-loop Scanner : XY > 5um, Z > 1.5um
Sample size : X-50mm *50 Y- mm* Z-18mm
Sample size : X-50mm*50 Y-mm* Z-18mm
Motorized Z Axis Stage : Z Travel : 18mm
Optics : 
Camara : on-axis color CCD with motorized zoom
Field of view : 1.24mm * 0.25mm(motorized zoom, with 10x objective)
Resolution : < 2um with standard 10x objective (0.75um with 50X)
Electronics : 20-bit DAC control, 100kHz±10v ADCs, digital feedback
System software : SPMLabTM V7.0 for data acquisition & analysis, WindowsⓇ XP